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pvd、cvd与td横向对比,各有哪些优势?
时间:2023-02-03    点击次数:432
项目/参数PVDCVDTD
表面处理方式物理气相沉积化学气相沉积熔融盐热扩散
薄膜材料TiN、CrN、TiAlN、DLC等TiN、TiC、TiCN等VC、CrC等
薄膜硬度2000~4500HV2300~3800HV2500~3300HV
薄膜厚度1~5um3~15um5~20um
与基材结合力良好良好
薄膜颗粒大小极小粗大
表面光滑度可达光学镜面一般
耐磨性能良好良好良好
防粘性能良好一般
耐热性能一般一般
耐酸碱性能一般一般
处理(成膜)温度200~600℃700~1000℃900~1100℃
基材变形趋势可以忽略
适合处理材料钢、硬质合金等钢、硬质合金等钢铁、硬质合金等
后处理方式不需要一般不要一般不要


另,TD前后都要做热处理,处理过程温度高,尺寸有变化,且做TD涂层次数有限;PVD后不用热处理,尺寸变形基本没有,可进行次数无限制。